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離子束拋光機是高束流密度、較小的束散角和較大束流均勻度的高能離子束轟擊光學元件表面，實現光學元件高精度加工的拋光設備。高能離子的產生是基于高純度惰性氣體，經過中空陰極，在電源模塊放電作用下產生電離，并將電子束流注入腔體內，電子束流經過電子均勻板將束流均勻分散進入到陽極區域內，電子在陽極的電場和磁場的作用下電力，并在柵網的電場作用下引出離子束流，通過系統控制，實現均勻、穩定的光學元件表面去除。

1、去除均勻，穩定性優于 98%。?

2、去除函數是高斯形，半高寬可調，從 40mm~0.1mm，從而實現各個 尺寸的口徑去除。?

3、去除函數相對 Z 軸移動不敏感，可以實現大陡度的復雜曲面加工。